低溫等離子處理設備是氣體分子在真空等離子清先機放電等特殊場合下產生的質量。等離子清洗 / 刻蝕產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電磁場，
用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體，同時會發生輝光。等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。